第一台油式旋片真空泵发明于1909年德国。中国在过去的30年工业化过程中，油式旋片真空泵大量使用，几乎每个需要高真空的工业生产领域都离不开油式选片真空泵，例如，真空镀膜，真空烧结，真空热处理，真空冻干食品等，这些泵的使用中也存在很多不利因素：
油式旋片真空泵会排出很多油雾，VOC(挥发性有机化合物)每年需要消耗很多真空油，维护保养频繁，对连续生产造成影响。随着产业升级，以及国家环保政策的颁发，这些对环境不友好的的设备应该被新技术产品替换。干式螺杆真空泵将成为替代油式真空泵理想产品。
干式真空泵起源于90年代，最早用在半导体行业，无油无水运行，优势明显，但是制造技术复杂，一直由西方少数几个公司掌握，价格非常昂贵，导致很多领域不得不采用油式的真空泵，中国制造业占全球一半比重，广泛的用干式真空泵代替油式真空泵具有重大意义，对于减少全球碳排放相当重要。
青岛仲尼机械有限公司研究真空泵的生产与应用十几年，较早就关注油式旋片真空泵的使用弊端问题，一直想把干式螺杆真空泵技术突破，应用在更广泛的领域，于2015年开始行业调研，2017年选取研发方向，确定干式真空泵产品型号，瞄准几个痛点领域，首先选取了真空热处理行业，成功用干式真空泵替代油式真空泵，虽然客户初期采购成本比油式真空泵高了一些，但是后期使用非常满意，没有油烟排放，工人工作环境获得极大改善，也没有环境排放问题，也不需要经常的保养维护泵，提高了生产效率。客户说，原来国外的干式真空泵也考虑过，价格实在太贵，现在终于能用的起干式真空泵了!
后期，随着我们干式真空泵的规模化量产，定会加速让全国，全球热处理行业用户把油式真空泵淘汰掉。
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