台积电将扩大采购EUV 设备，明年机台就将超过50 之数，估计可达55 台，非常可观。相较之下，三星可能还不到一半，而英特尔更少，这将令台积电持续维持制程优势。从EUV 光罩盒的采购量看来也支持这样的说法。
而从之前的消息看来，台积电是毫无疑问的EUV大买家。
台积电买下市场上50%的EUV光刻机
在上个月召开的台积电技术研讨会上，最重要的中心信息之一是，该公司在半导体制造领域处于世界领先地位，特别是在领先的工艺技术领域。
为进一步传达信息，台积电展示了一张幻灯片，指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单，台积电预测他们已安装了全世界约约50%的激活EUV机器。除此之外，该公司还拥有约60%的EUV晶圆累计生产量。
大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP(及以下任何产品)，英特尔的EUV努力仅在明年进入其自己的7nm产品组合。这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大EUV的使用范围。
与常规DUV机器相比，EUV机器的吞吐率通常较低，每小时约为120-175片晶圆，最新版本可以达到275 wph，但是由于1层EUV通常可以代替3-4层DUV，因此吞吐率更高。但是，对于这些代工厂来说，渴望扩展到多个EUV机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标 。
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